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An autonomous orbit determination method for MEO&LEO satellite 会议论文
, 2014
Authors:  Zhang, Hui;  Wang, Jin;  Yu, GuoBin;  Zhong, Jie;  Lin, Ling
Adobe PDF(295Kb)  |  Favorite  |  View/Download:69/0  |  Submit date:2016/11/24
工件台移动直线性对掩模移动曝光的影响 期刊论文
光电工程, 2007, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 55-60
Authors:  佟军民;  胡松;  董小春;  严伟;  余国彬
Adobe PDF(779Kb)  |  Favorite  |  View/Download:62/1  |  Submit date:2015/05/14
掩模移动曝光系统精密定位工件台研制 期刊论文
微细加工技术, 2007, 卷号: 34, 期号: 3, 页码: 18-22
Authors:  佟军民;  胡松;  余国彬
Adobe PDF(1145Kb)  |  Favorite  |  View/Download:107/2  |  Submit date:2015/05/14
百纳米级微细图形投影光学光刻偏振成像原理及方法研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  余国彬
Microsoft Word(6273Kb)  |  Favorite  |  View/Download:124/1  |  Submit date:2013/11/19
投影光学光刻  超大数值孔径  偏振成像  偏振成像控制  分辨力  
电子束曝光机激光工件台测量系统研究 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 19-23
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  胡松;  余国彬
Adobe PDF(182Kb)  |  Favorite  |  View/Download:97/1  |  Submit date:2015/04/23
电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 11-13
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  余国彬
Adobe PDF(343Kb)  |  Favorite  |  View/Download:97/1  |  Submit date:2015/04/23
下一代光刻技术 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 27-33
Authors:  佟军民;  胡松;  余国彬
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An investigation on capability of polarization control for immersion lithography through simulation 期刊论文
Chinese Optics Letters, 2005, 卷号: 3, 期号: 增刊, 页码: 198-199
Authors:  Yu Guobin;  Xing Tingwen;  Yao Hanmin;  Yu GB(余国彬)
Adobe PDF(372Kb)  |  Favorite  |  View/Download:73/0  |  Submit date:2015/04/23
Surface plasmon polariton radiation from metallic photonic crystal slabs breaking the diffraction limit: 期刊论文
MODERN PHYSICS LETTERS B, 2005, 卷号: 18, 期号: 18, 页码: 945-953
Authors:  Luo Xiangnang;  Shi Jianping;  Wang Hao;  Yu Guobin;  Luo XG(罗先刚)
Adobe PDF(440Kb)  |  Favorite  |  View/Download:81/0  |  Submit date:2015/04/23
离轴照明空间成像的偏振光影响研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 3, 页码: 22~25
Authors:  余国彬;  罗先刚;  姚汉民
Adobe PDF(270Kb)  |  Favorite  |  View/Download:64/0  |  Submit date:2014/12/23