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数字灰度投影光刻技术 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 卷号: 46, 期号: 3, 页码: 181-185
Authors:  赵立新;  严伟;  王建;  胡松;  唐小萍;  王肇志;  王淑蓉;  张正荣;  张雨东
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Research on digital gray-tone projection lithography 会议论文
, 2009
Authors:  Wang Jian;  Zhao Lixin;  Yan WEi;  Xu Wenxiang;  Hu Song;  Tang Xiaoping;  Wang Zhaozhi;  Wang Shurong;  Zhang Zhengrong
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电子束曝光机激光工件台测量系统研究 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 19-23
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  胡松;  余国彬
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电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 11-13
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  余国彬
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高精度螺距自动扫描测量仪设计 期刊论文
计量技术, 2002, 期号: 2, 页码: 7--10
Authors:  胡松;  王肇志;  唐小萍
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底面对准曝光机对准系统设计 期刊论文
微纳电子技术, 2002, 卷号: 39, 期号: 10, 页码: 40--44
Authors:  严伟;  王肇志;  姚汉民
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