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投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  陈昌龙
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光学投影光刻  检焦系统  线阵ccd  Camera Link  图像细分算法  
基于线阵CCD的高速光刻检焦技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 44, 期号: 8, 页码: 2389-2394
Authors:  陈昌龙;  邸成良;  唐小萍;  胡松
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光刻  检焦  Fpga  线阵ccd  
Intelligent control system based on ARM for lithography tool 会议论文
, 2014
Authors:  Chen, Changlong;  Tang, Xiaoping;  Hu, Song;  Wang, Nan
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