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离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
Authors:  余琪
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薄膜应力  离子束溅射技术  光学薄膜  有限元分析  
变形反射镜红外光学薄膜研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  张耀平
Microsoft Word(11351Kb)  |  Favorite  |  View/Download:146/1  |  Submit date:2013/11/19
变形反射镜  红外光学薄膜  薄膜缺陷  薄膜应力