IOE OpenIR

Browse/Search Results:  1-3 of 3 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
曲率半径干涉测量定焦误差分析 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 7, 页码: 19-23
Authors:  毛洁;  侯溪;  伍凡
Adobe PDF(1578Kb)  |  Favorite  |  View/Download:42/0  |  Submit date:2016/11/22
测量  干涉测量  光学球面  曲率半径  定焦  离焦量  误差分析  
基于干涉的同轴检焦新方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 12, 页码: 186-190
Authors:  李光;  朱江平;  陈铭勇;  赵立新;  胡松;  段宣明
Adobe PDF(2475Kb)  |  Favorite  |  View/Download:56/0  |  Submit date:2016/11/23
测量  同轴检焦  干涉  傅里叶变换  离焦量  
基于锁定放大原理的投影光刻检焦技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  谢飞
Adobe PDF(7138Kb)  |  Favorite  |  View/Download:111/1  |  Submit date:2014/12/11
光学投影光刻  焦深  检焦技术  离焦量  锁定放大法