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离子束溅射制备Ta2O5/SiO2薄膜的应力特性研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
Authors:  余琪
Adobe PDF(3694Kb)  |  Favorite  |  View/Download:115/1  |  Submit date:2017/06/14
薄膜应力  离子束溅射技术  光学薄膜  有限元分析