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基于二维Ronchi光栅的纳米光刻对准技术研究 期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 9, 页码: 301-307
Authors:  司新春,佟军民,唐燕等;  司新春
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傅里叶光学  二维光栅  光刻对准  叠栅条纹  频谱  
光刻对准中掩模光栅标记成像标定方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 1, 页码: 0108002-1-5
Authors:  朱江平;  胡松;  于军胜;  唐燕;  周绍林;  何渝
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光栅  掩模光栅  光刻对准  角度标定  叠栅条纹  
基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究 期刊论文
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 168-172
Authors:  朱江平;  胡松;  于军胜;  唐燕;  周绍林;  刘旗;  何渝
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光栅  光刻对准  反射式光路  叠栅条纹  光栅标记  
基于叠栅条纹的光刻对准理论分析及标定方法 期刊论文
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 34-40
Authors:  朱江平;  胡松;  于军胜;  唐燕;  周绍林
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傅里叶光学  光刻对准  角位移  叠栅条纹  相位斜率  线光栅标记  
叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析 期刊论文
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 9, 页码: 116-123
Authors:  朱江平;  胡松;  于军胜
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测量  光刻对准  角位移  叠栅条纹  相位分析