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大口径压电倾斜镜模型辨识与控制 期刊论文
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 95-103
Authors:  黄林海;  凡木文;  周睿;  张浩田;  黄奎;  胡诗杰;  罗曦;  李新阳
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倾斜镜  结构谐振  压电陶瓷  大口径  
高性能压电波前校正器驱动技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  凡木文
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自适应光学  高压放大器  波前校正器  压电陶瓷驱动器  
用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计 期刊论文
压电与声光, 2013, 期号: 1, 页码: 94-97
Authors:  胡博;  唐小萍;  胡松;  胡志成
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压电陶瓷  驱动器  高压运放  高精度  仿真分析  
应变式微型精密压电驱动器的一体化设计及其PID控制 期刊论文
光学精密工程, 2013, 卷号: 21, 期号: 3, 页码: 709-716
Authors:  王耿;  官春林;  张小军;  周虹;  饶长辉
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压电陶瓷  压电驱动器  迟滞  应变反馈  Pid控制  定位精度  
用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  舒强
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波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位  
压电陶瓷微动台的复合控制 期刊论文
光学精密工程, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1265-1271
Authors:  王俐;  饶长辉;  饶学军
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压电陶瓷  迟滞特性  改进的pi迟滞模型  前馈控制  动态定位精度  
压电式光纤相位调制器相移系数测试 期刊论文
强激光与粒子束, 2012, 卷号: 24, 期号: 7, 页码: 1641-1644
Authors:  罗文;  耿超;  李新阳
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光纤光学  相位调制器  压电陶瓷环  相移系数  锁相  
自适应光学波前校正器高压驱动技术动态性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  龙传慧
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压电陶瓷  驱动电源  动态性能  自适应光学  
基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光磨盘系统研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  胡自强
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非球面镜  压电陶瓷驱动器  非球面变形抛光磨盘  光学加工  
能动变形反射镜的纳米级驱动技术研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2001
Authors:  王皓
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驱动器  纳米驱动技术  压电陶瓷  能动变形反射镜  能动光学