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高性能压电波前校正器驱动技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  凡木文
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自适应光学  高压放大器  波前校正器  压电陶瓷驱动器  
用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  舒强
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波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位  
基于压电陶瓷驱动器的非球面变形抛光磨盘系统研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  胡自强
Microsoft Word(16351Kb)  |  Favorite  |  View/Download:420/1  |  Submit date:2013/11/19
非球面镜  压电陶瓷驱动器  非球面变形抛光磨盘  光学加工