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自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  江海波
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光学光刻  计算光刻  光刻仿真  分辨力增强技术  照明模式  光源掩模优化(smo)  
一种增大工艺窗口的光源优化方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 10, 页码: 151-157
Authors:  江海波
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成像系统  光学光刻  离轴照明  光源优化  
100nm线宽ArF步进扫描投影光刻机步进和同步扫描运动模型研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  胡松
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光学光刻  同步扫描  控制算法  工件台  对准  调平调焦  
百纳米级微细图形投影光学光刻偏振成像原理及方法研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  余国彬
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投影光学光刻  超大数值孔径  偏振成像  偏振成像控制  分辨力  
0.35μm投影光刻机逐场调焦调平控制技术研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000
Authors:  张津
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光学光刻  逐场调焦调平  解耦控制  耦合关系  控制算法  
高精度逐场调平技术研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 1999
Authors:  胡松
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光学光刻  逐场调平  多点检焦  控制算法  套刻  步进模型