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光栅移相点衍射干涉仪及其测量误差 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  何国良
Microsoft Word(1365Kb)  |  Favorite  |  View/Download:109/1  |  Submit date:2013/11/19
干涉测量  移相  点衍射干涉仪  面形检测  测量误差  
193nm移相点衍射干涉仪的测量误差分析 期刊论文
光电工程, 2009, 卷号: 36, 期号: 2, 页码: 67-72
Authors:  邢廷文;  何国良;  舒亮
Adobe PDF(1464Kb)  |  Favorite  |  View/Download:46/0  |  Submit date:2016/11/01
基于环形子孔径拼接法检测非球面研究 期刊论文
光学仪器, 2009, 卷号: 31, 期号: 3, 页码: 61-65
Authors:  舒亮;  邢廷文;  何国良
Adobe PDF(463Kb)  |  Favorite  |  View/Download:43/0  |  Submit date:2016/11/01