IOE OpenIR

Browse/Search Results:  1-4 of 4 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
多自由度相位调制器测试技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
Authors:  方国明
Adobe PDF(4474Kb)  |  Favorite  |  View/Download:56/1  |  Submit date:2018/06/10
激光外差干涉  平面法线向量  位移测量  角度测量  仿真分析  
用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计 期刊论文
压电与声光, 2013, 期号: 1, 页码: 94-97
Authors:  胡博;  唐小萍;  胡松;  胡志成
Adobe PDF(583Kb)  |  Favorite  |  View/Download:36/1  |  Submit date:2016/11/23
压电陶瓷  驱动器  高压运放  高精度  仿真分析  
刃边法的MTF评价精度分析 期刊论文
中国科学院研究生院学报, 2012, 卷号: 29, 期号: 6, 页码: 786-792
Authors:  刘亮;  李显彬;  姜小光;  吴玮;  张宝军;  杨典华
Adobe PDF(1988Kb)  |  Favorite  |  View/Download:44/0  |  Submit date:2016/11/22
调制传递函数(Mtf)  刃边法  仿真分析  
大口径高速压电倾斜镜结构设计与分析 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  朱衡
Microsoft Word(11245Kb)  |  Favorite  |  View/Download:104/1  |  Submit date:2013/11/19
高速压电倾斜镜  薄板径向支撑  谐振频率  有限元仿真分析  优化分析