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电子束曝光系统中精密工件台的测量系统 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 卷号: 46, 期号: 4, 页码: 244-249
Authors:  严伟;  胡松;  杨勇;  周绍林;  蒋文波;  李艳丽;  乔俊仙
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电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  乔俊仙
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激光干涉仪  精密工件台  电子束曝光机  误差分析  误差补偿  
电子束曝光机传输片机械手研制 期刊论文
微细加工技术, 2006, 卷号: 25, 期号: 1, 页码: 13~15
Authors:  乔俊仙
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电子束曝光机激光工件台系统研制 期刊论文
微纳电子技术, 2006, 卷号: 91, 期号: 2, 页码: ~
Authors:  乔俊仙
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电子束曝光机激光工件台测量系统研究 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 19-23
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  胡松;  余国彬
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电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 11-13
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  余国彬
Adobe PDF(343Kb)  |  Favorite  |  View/Download:101/1  |  Submit date:2015/04/23