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电子束曝光机激光工件台测量系统研究 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 10, 页码: 19-23
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  胡松;  余国彬
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电子束曝光机的一种新型精密工件台结构特点及几何精度分析 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 6, 页码: 11-13
Authors:  乔俊仙;  王肇志;  余国彬
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下一代光刻技术 期刊论文
电子工业专用设备, 2005, 卷号: 34, 期号: 11, 页码: 27-33
Authors:  佟军民;  胡松;  余国彬
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