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140单元MEMS变形镜研制及测试分析 期刊论文
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
Authors:  汪为民;  王强
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微机电系统  变形镜  自适应光学  静电驱动器  
MEMS静电驱动器的场致电子发射效应研究 期刊论文
半导体光电, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 925-929+935
Authors:  汪为民,王强,邱传凯等;  汪为民
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Mems  静电驱动器  场致电子发射  场增强因子  名义发射面积  可靠性  
大行程MEMS微变形镜研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  王大甲
Microsoft Word(4577Kb)  |  Favorite  |  View/Download:167/2  |  Submit date:2013/11/19
Mems微变形镜  Soi晶片  旋转放大原理  自适应光学