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基于反射型超表面电磁调控器原理及制备技术研究 学位论文
, 重庆大学: 重庆大学, 2019
Authors:  张明
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用于纳米结构功能器件的表面等离子体光刻技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2018
Authors:  刘利芹
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超表面相位调控原理及应用 期刊论文
光电工程, 2017, 卷号: 44, 期号: 3, 页码: 255-275
Authors:  李雄;  马晓亮;  罗先刚
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接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  张伟
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表面等离子体光刻  衍射极限  工作距  离轴照明  贝塞尔光束  双曲色散超材料  
基于光栅调制相位成像的纳米对准方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  周绍林
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光学加工  光刻  对准  衍射光栅  相位成像  
基于自组装PS球阵列的超衍射光刻 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  李淑红
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纳米结构  微细加工  光刻  自组装  传导波  倏逝波  表面等离子体  负折射率材料  超衍射光刻  
表面等离子体超衍射分辨力光刻技术研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
Authors:  杨勇
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表面等离子体  倏逝波  超衍射分辨力  纳米光刻  
基于表面等离子体的微纳光刻技术 期刊论文
微纳电子技术, 2008, 期号: 12, 页码: 716-719
Authors:  杨勇;  胡松;  姚汉民
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100nm线宽ArF步进扫描投影光刻机步进和同步扫描运动模型研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  胡松
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光学光刻  同步扫描  控制算法  工件台  对准  调平调焦