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单点金刚石车削复杂曲面技术研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
Authors:  黄岳田
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基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
Authors:  艾立夫
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基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
Authors:  周毅
Adobe PDF(6972Kb)  |  Favorite  |  View/Download:126/2  |  Submit date:2018/05/24
表面形貌检测  时域调制度  相位纵向拼接  超分辨显微成像  宽光谱  
基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
Authors:  周毅
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表面形貌检测  时域调制度  相位纵向拼接  超分辨显微成像  宽光谱  
白光干涉检测仪垂直扫描系统设计 期刊论文
半导体技术, 2017, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 229-234
Authors:  姚靖威;  唐燕;  周毅;  邓茜;  赵立新;  胡松
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