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基于超表面的红外偏振相关电磁调控研究 学位论文
工学博士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
Authors:  闫超
Adobe PDF(7294Kb)  |  Favorite  |  View/Download:58/1  |  Submit date:2019/06/14
基于散射光暗场显微的基片表面颗粒检测方法研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
Authors:  艾立夫
Adobe PDF(3814Kb)  |  Favorite  |  View/Download:35/0  |  Submit date:2019/06/13
电磁超构材料色散调控研究进展 期刊论文
光电工程, 2017, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 3-22
Authors:  郭迎辉;  蒲明博;  马晓亮;  李雄;  罗先刚
Adobe PDF(10157Kb)  |  Favorite  |  View/Download:65/0  |  Submit date:2018/12/20
接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  张伟
Adobe PDF(9410Kb)  |  Favorite  |  View/Download:120/2  |  Submit date:2016/12/30
表面等离子体光刻  衍射极限  工作距  离轴照明  贝塞尔光束  双曲色散超材料  
偏振性能测试方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  侯梦晗
Adobe PDF(2440Kb)  |  Favorite  |  View/Download:160/1  |  Submit date:2015/07/30
浸没式光刻  Stokes 参量  偏振测量  旋转1/4 波片  误差校准  
自定义照明模式分辨力增强技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  江海波
Adobe PDF(3976Kb)  |  Favorite  |  View/Download:96/1  |  Submit date:2015/07/30
光学光刻  计算光刻  光刻仿真  分辨力增强技术  照明模式  光源掩模优化(smo)  
一种增大工艺窗口的光源优化方法 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 卷号: 52, 期号: 10, 页码: 151-157
Authors:  江海波
Adobe PDF(1534Kb)  |  Favorite  |  View/Download:100/0  |  Submit date:2016/11/01
成像系统  光学光刻  离轴照明  光源优化  
非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响 期刊论文
光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 2, 页码: 87-92
Authors:  陈安;  林妩媚;  江海波
Adobe PDF(1331Kb)  |  Favorite  |  View/Download:57/0  |  Submit date:2016/11/01
光刻仿真  非理想照明  光瞳偏心  离轴照明  
高均匀复杂光刻照明系统技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  林妩媚
Adobe PDF(4095Kb)  |  Favorite  |  View/Download:234/2  |  Submit date:2014/12/11
均匀照明  照明系统  照明模式变换  相干因子调整  光瞳补偿  
衍射光学元件实现多模激光光束整形的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  李媛媛
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多模激光  光束整形  阵列型doe  均匀性