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基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量 期刊论文
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
Authors:  邓钦元;  唐燕;  周毅;  杨勇;  胡松
Adobe PDF(8232Kb)  |  Favorite  |  View/Download:30/0  |  Submit date:2019/08/23
测量  空间频域  白光干涉  2π模糊  相干信息  相位突变