IOE OpenIR

Browse/Search Results:  1-6 of 6 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2018
Authors:  邓钦元
Adobe PDF(5422Kb)  |  Favorite  |  View/Download:116/3  |  Submit date:2018/05/24
三维微纳结构  无掩模光刻  非线性  白光干涉  空间调制度  
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量 期刊论文
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
Authors:  邓钦元;  唐燕;  周毅;  杨勇;  胡松
Adobe PDF(8232Kb)  |  Favorite  |  View/Download:30/0  |  Submit date:2019/08/23
测量  空间频域  白光干涉  2π模糊  相干信息  相位突变  
白光干涉检测仪垂直扫描系统设计 期刊论文
半导体技术, 2017, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 229-234
Authors:  姚靖威;  唐燕;  周毅;  邓茜;  赵立新;  胡松
Adobe PDF(1292Kb)  |  Favorite  |  View/Download:58/0  |  Submit date:2018/12/20
红外光学镜头中衍射元件的设计加工及检测 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  程习敏
Adobe PDF(4486Kb)  |  Favorite  |  View/Download:180/2  |  Submit date:2015/07/30
衍射光学  反混合元件红外系统单点金刚石车削  
拼接式反射镜共相位干涉检测技术研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008
Authors:  宋贺伦
Microsoft Word(12553Kb)  |  Favorite  |  View/Download:187/2  |  Submit date:2013/11/19
拼接式反射镜  相位误差  宽光谱  干涉系统  
基于宽光谱干涉系统的拼接主镜共相位检测技术 期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 41-44
Authors:  宋贺伦;  鲜浩;  黄健;  姜文汉
Adobe PDF(474Kb)  |  Favorite  |  View/Download:88/0  |  Submit date:2015/05/18