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基于视差测距的光电跟踪测量设备实时调焦方法研究 学位论文
工程硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
Authors:  王帆
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光电跟踪测量,短基线,视差测距模型,误差分析,自动调焦,适用性  
投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  陈昌龙
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光学投影光刻  检焦系统  线阵ccd  Camera Link  图像细分算法  
纳米光刻中叠栅莫尔条纹检焦技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
Authors:  邸成良
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光刻  检焦  莫尔条纹  相位分析  
基于线阵CCD的高速光刻检焦技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 44, 期号: 8, 页码: 2389-2394
Authors:  陈昌龙;  邸成良;  唐小萍;  胡松
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光刻  检焦  Fpga  线阵ccd  
基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 202-207
Authors:  冯金花;  胡松;  李艳丽;  何渝
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测量  纳米检焦  相位解析  光弹调制  横向剪切板  
基于干涉的同轴检焦新方法 期刊论文
中国激光, 2013, 期号: 12, 页码: 186-190
Authors:  李光;  朱江平;  陈铭勇;  赵立新;  胡松;  段宣明
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测量  同轴检焦  干涉  傅里叶变换  离焦量  
双工件台光刻机中的焦面控制技术 期刊论文
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 241-245
Authors:  李金龙;  胡松;  赵立新
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光学器件  光刻术  调平调焦  双工件台光刻机  
航空相机自动检调焦技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  朱鹤
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航空相机  离焦  光电自准直  检调焦  
数字航空相机高性能物镜研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  蓝公仆
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航空相机  光学设计  渐晕推导  主动式温度补偿  有限元分析  
纳米投影光刻中的光栅检焦技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  陈旺富
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投影光刻  检焦技术  偏振调制  光弹调制