IOE OpenIR

Browse/Search Results:  1-9 of 9 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
基于光栅调制相位成像的纳米对准方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  周绍林
Adobe PDF(21113Kb)  |  Favorite  |  View/Download:151/1  |  Submit date:2014/12/11
光学加工  光刻  对准  衍射光栅  相位成像  
基于USB2.0和CPLD的双面光刻机底面对准与控制系统 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008
Authors:  邓玖根
Microsoft Word(2836Kb)  |  Favorite  |  View/Download:434/1  |  Submit date:2013/11/19
Usb  Cpld  双面光刻机  底面对准  控制  
掩模移动曝光系统精密定位工件台技术研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2007
Authors:  佟军民
Adobe PDF(1592Kb)  |  Favorite  |  View/Download:95/1  |  Submit date:2013/11/19
掩模移动曝光技术  精密定位工件台  移动直线性  移动正交性  
基于USB2.0与CPLD的光刻机底面对准系统设计 期刊论文
微纳电子技术, 2007, 期号: 12, 页码: 1082-1086
Authors:  邓玖根;  张正荣;  胡松;  唐小萍;  马平
Adobe PDF(515Kb)  |  Favorite  |  View/Download:139/1  |  Submit date:2015/05/14
100nm线宽ArF步进扫描投影光刻机步进和同步扫描运动模型研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  胡松
Microsoft Word(4318Kb)  |  Favorite  |  View/Download:583/2  |  Submit date:2013/11/19
光学光刻  同步扫描  控制算法  工件台  对准  调平调焦  
DSP实现双面光刻底面对准系统 期刊论文
微纳电子技术, 2004, 卷号: 41, 期号: 3, 页码: 44-46
Authors:  柯学;  罗正全
Adobe PDF(495Kb)  |  Favorite  |  View/Download:69/0  |  Submit date:2015/04/16
用于MEMS加工的双面深度光刻机底面对准系统及其控制系统研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2003
Authors:  马平
Adobe PDF(2333Kb)  |  Favorite  |  View/Download:121/1  |  Submit date:2013/11/19
双面光刻  底面对准  图像处理  步进电机  电磁阀  
底面对准曝光机对准系统设计 期刊论文
微纳电子技术, 2002, 卷号: 39, 期号: 10, 页码: 40--44
Authors:  严伟;  王肇志;  姚汉民
Adobe PDF(330Kb)  |  Favorite  |  View/Download:103/2  |  Submit date:2014/12/09
底面对准曝光中的对准技术研究 期刊论文
微细加工技术, 2002, 卷号: 20, 期号: 3, 页码: 36--39
Authors:  陈兴俊;  胡松;  姚汉民
Adobe PDF(242Kb)  |  Favorite  |  View/Download:49/0  |  Submit date:2014/12/09