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基于光栅调制相位成像的纳米对准方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  周绍林
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光学加工  光刻  对准  衍射光栅  相位成像  
基于USB2.0和CPLD的双面光刻机底面对准与控制系统 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008
Authors:  邓玖根
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Usb  Cpld  双面光刻机  底面对准  控制  
100nm线宽ArF步进扫描投影光刻机步进和同步扫描运动模型研究 学位论文
, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006
Authors:  胡松
Microsoft Word(4318Kb)  |  Favorite  |  View/Download:583/2  |  Submit date:2013/11/19
光学光刻  同步扫描  控制算法  工件台  对准  调平调焦  
用于MEMS加工的双面深度光刻机底面对准系统及其控制系统研究 学位论文
, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2003
Authors:  马平
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双面光刻  底面对准  图像处理  步进电机  电磁阀