IOE OpenIR

Browse/Search Results:  1-1 of 1 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  张伟
Adobe PDF(9410Kb)  |  Favorite  |  View/Download:121/2  |  Submit date:2016/12/30
表面等离子体光刻  衍射极限  工作距  离轴照明  贝塞尔光束  双曲色散超材料