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基于神经网络的压电驱动器非线性迟滞效应的建模与校正 学位论文
工学硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2019
Authors:  刘鑫
Adobe PDF(5604Kb)  |  Favorite  |  View/Download:45/1  |  Submit date:2019/06/13
基于模型辨识的自适应光学系统控制技术研究 学位论文
, 研究生部208教室: 中国科学院光电技术研究所, 2019
Authors:  林海奇
Adobe PDF(3943Kb)  |  Favorite  |  View/Download:32/0  |  Submit date:2019/06/13
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量 期刊论文
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
Authors:  邓钦元;  唐燕;  周毅;  杨勇;  胡松
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测量  空间频域  白光干涉  2π模糊  相干信息  相位突变  
应变式压电光学偏转器的集成设计及性能测试 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54, 期号: 8, 页码: 269-276
Authors:  王耿;  周克辛;  周虹
Adobe PDF(10057Kb)  |  Favorite  |  View/Download:28/0  |  Submit date:2018/12/20
拼接主镜主动控制实验研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54, 期号: 10, 页码: 216-223
Authors:  于文豪;  李斌;  陈莫;  鲜浩
Adobe PDF(4408Kb)  |  Favorite  |  View/Download:45/0  |  Submit date:2018/12/20
913单元变形镜性能测试与分析 期刊论文
激光技术, 2017, 期号: 6, 页码: 867-871
Authors:  尤俊成;  周虹;  官春林;  樊新龙;  牟进博
Adobe PDF(6562Kb)  |  Favorite  |  View/Download:28/0  |  Submit date:2018/12/20
高性能压电波前校正器驱动技术研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
Authors:  凡木文
Adobe PDF(4291Kb)  |  Favorite  |  View/Download:63/2  |  Submit date:2017/01/03
自适应光学  高压放大器  波前校正器  压电陶瓷驱动器  
用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计 期刊论文
压电与声光, 2013, 期号: 1, 页码: 94-97
Authors:  胡博;  唐小萍;  胡松;  胡志成
Adobe PDF(583Kb)  |  Favorite  |  View/Download:45/1  |  Submit date:2016/11/23
压电陶瓷  驱动器  高压运放  高精度  仿真分析  
用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  舒强
Adobe PDF(4330Kb)  |  Favorite  |  View/Download:175/1  |  Submit date:2014/12/11
波像差检测  压电陶瓷驱动器  柔性铰链  精密定位  
自适应光学波前校正器高压驱动技术动态性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  龙传慧
Adobe PDF(3065Kb)  |  Favorite  |  View/Download:89/0  |  Submit date:2014/12/10
压电陶瓷  驱动电源  动态性能  自适应光学