IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)

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基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量 期刊论文
中国激光, 2018, 卷号: 45, 期号: 6, 页码: 604001-604007
Authors:  邓钦元;  唐燕;  周毅;  杨勇;  胡松
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测量  空间频域  白光干涉  2π模糊  相干信息  相位突变  
基于RGB-D相机数据的SLAM算法 期刊论文
电子设计工程, 2018, 卷号: 26, 期号: 9, 页码: 147-151+157
Authors:  洪亮;  冯常
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RGB-D  机器人  视觉SLAM  位姿图优化  三维点云图  
基于ROS的四轴机械臂运动仿真与控制的研究 期刊论文
电子设计工程, 2018, 卷号: 26, 期号: 10, 页码: 124-128
Authors:  张松伟;  冯常
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机械制造自动化  运动规划  ROS  Gazebo  
基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 期刊论文
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54, 期号: 8, 页码: 260-268
Authors:  佟军民;  刘俊伯;  胡松
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KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析 期刊论文
机械设计与制造, 2017, 期号: 6, 页码: 164-166
Authors:  佟军民;  王冬梅
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一种大F数微透镜阵列的制备方法 期刊论文
光子学报, 2017, 卷号: 46, 期号: 2, 页码: 32-37
Authors:  刘鑫;  张满;  史立芳;  曹阿秀;  邓启凌
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白光干涉检测仪垂直扫描系统设计 期刊论文
半导体技术, 2017, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 229-234
Authors:  姚靖威;  唐燕;  周毅;  邓茜;  赵立新;  胡松
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基于WEBOTS的模糊PID控制的研究 期刊论文
电子设计工程, 2016, 卷号: 24, 期号: 13, 页码: 41-44
Authors:  尹梦舒;  冯常
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模糊pid控制器  模糊pid控制算法  Webots仿真软件  轮式机器人  
一种应用于水下电视的实时温湿度监测系统 期刊论文
电子设计工程, 2016, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 96-99
Authors:  王从政;  冯常;  廖礼斌
Adobe PDF(1373Kb)  |  Favorite  |  View/Download:55/0  |  Submit date:2018/06/15
Sht25  温湿度  C8051f  电流环  
光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 期刊论文
电子工业专用设备, 2016, 期号: 1, 页码: 15-18+23
Authors:  周清华;  胡松;  杜靖;  王建
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光刻机  调平调焦台  精度指标分解  函数误差原理