| 自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计 | |
| 刘洪祥; 李凌辉; 申林; 熊胜明; 张云洞 | |
| Source Publication | 光学仪器
 |
| Volume | 26Issue:2Pages:83-86 |
| 2004 | |
| Language | 中文 |
| Indexed By | 其他 |
| Subtype | 期刊论文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/935 |
| Collection | 薄膜光学技术研究室（十一室） |
| Corresponding Author | 刘洪祥 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘洪祥,李凌辉,申林,等. 自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计[J]. 光学仪器,2004,26(2):83-86. |
| APA | 刘洪祥,李凌辉,申林,熊胜明,&张云洞.(2004).自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计.光学仪器,26(2),83-86. |
| MLA | 刘洪祥,et al."自动控制离子束溅射沉积光学薄膜系统设计".光学仪器 26.2(2004):83-86. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 4089.pdf（170KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | View Application Full Text | |||
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