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Department超精总体部
超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用
侯溪; 宋伟红; 吴高峰; 贾辛; 全海洋; 徐富超
Source Publication《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》
Pages1
2018
Language中文
SubtypeJ
Abstract介绍超高精度光学元件面形干涉检测技术需求,概括介绍国内外面形干涉检测技术现状和发展趋势。重点介绍光电技术研究所在平球面绝对检测、拼接检测、非球面检测方面的技术进展和相关应用。最后对其未来发展进行了展望。
Keyword光学元件 干涉检测
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9226
Collection超精总体部
Affiliation中国科学院光电技术研究所
First Author AffilicationInstitute of optics and electronics, CAS
Recommended Citation
GB/T 7714
侯溪,宋伟红,吴高峰,等. 超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用[J]. 《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》,2018:1.
APA 侯溪,宋伟红,吴高峰,贾辛,全海洋,&徐富超.(2018).超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用.《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》,1.
MLA 侯溪,et al."超高精度光学元件面形干涉检测技术及应用".《第十七届全国光学测试学术交流会摘要集》 (2018):1.
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