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Department微电子装备总体研究室(四室)
基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量
邓钦元; 唐燕; 周毅; 杨勇; 胡松
Source Publication中国激光
Volume45Issue:6Pages:604001-604007
2018
Language中文
ISSN0258-7025
DOI10.3788/CJL201845.0604001
Indexed ByEi ; CSCD
EI Accession Number20183405731191
CSCD IDCSCD:6268744
SubtypeJ
Abstract提出了一种基于空间频域分析的白光干涉测量算法,该算法通过消除相位信息中的2π模糊来实现高精度的表面形貌测量。在频域分析中可以同时提取样品的相干形貌和相位形貌。相干形貌虽然不受2π模糊的影响,但是包含测量误差,精度较低。相位形貌虽然能够实现较高精度的表面形貌测量,但存在2π模糊问题。因此采用相干信息与相位信息相结合的方式来消除相位信息中的2π模糊。此外,针对由背景噪声和光源扰动所引起的局部相位突变,提出了相邻像素点差分分析方法,有效消除了局部相位突变,从而提高了测量的稳定性。该方法不需要复杂的计算,工作效率较高。分别从理论和实验两个方面进行分析,以验证提出方法的有效性。
Keyword测量 空间频域 白光干涉 2π模糊 相干信息 相位突变
EI KeywordsComputation theory ; Fiber optic sensors ; Interferometry ; Light interference ; Light sources ; Measurement ; Surface measurement ; Surface topography
EI Classification Number721.1 Computer Theory, Includes Formal Logic, Automata Theory, Switching Theory, Programming Theory ; 741.1 Light/Optics ; 741.1.2 Fiber Optics ; 921.3 Mathematical Transformations ; 931.2 Physical Properties of Gases, Liquids and Solids ; 941.4 Optical Variables Measurements ; 943.2 Mechanical Variables Measurements
Citation statistics
Cited Times:4[CSCD]   [CSCD Record]
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9222
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Affiliation中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
First Author AffilicationInstitute of optics and electronics, CAS
Recommended Citation
GB/T 7714
邓钦元,唐燕,周毅,等. 基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量[J]. 中国激光,2018,45(6):604001-604007.
APA 邓钦元,唐燕,周毅,杨勇,&胡松.(2018).基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量.中国激光,45(6),604001-604007.
MLA 邓钦元,et al."基于白光干涉频域分析的高精度表面形貌测量".中国激光 45.6(2018):604001-604007.
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