IOE OpenIR  > 光电工程总体研究室(一室)
Department光电工程总体研究室(一室)
基于平面法线向量的三自由度测量方法
方国明; 彭起; 马浩统; 乔山; 边疆; 陈丰; 刘欣城; 谭玉凤; 贺壁; 董理
Source Publication激光与光电子学进展
Volume55Issue:11Pages:256-263
2018
Language中文
ISSN1006-4125
DOI1006-4125(2018)55:11<111201:JYPMFX>2.0.TX;2-I
Indexed ByCSCD
CSCD IDCSCD:6383201
SubtypeJ
Abstract相位调制器是相干合成孔径望远镜中光束合成机构的关键部件,精确测量相位调制器的运动信息是相位调制器控制的核心技术之一。提出了基于平面法线向量的三自由度(俯仰角、方位角和轴向位移)测量方法,基于法线向量的变化解算角度和位移信息,并对所提方法进行详细描述,分析了影响测量精度的因素。实验结果表明:旋转角α和γ的转动范围分别为0~0.44mrad和0~0.28mrad,位移移动范围为0~3μm;在测量范围内,角度误差小于3.3/μrad,位移误差小于50nm。所提方法具有结构简单、测量精度高等优势,可广泛应用于相位调制器等的三自由度测量中。
Keyword测量 精密测量 三自由度 法线向量 误差分析 数值仿真
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9207
Collection光电工程总体研究室(一室)
Affiliation1.中国科学院光束控制重点实验室
2.中国科学院光电技术研究所
3.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
方国明,彭起,马浩统,等. 基于平面法线向量的三自由度测量方法[J]. 激光与光电子学进展,2018,55(11):256-263.
APA 方国明.,彭起.,马浩统.,乔山.,边疆.,...&董理.(2018).基于平面法线向量的三自由度测量方法.激光与光电子学进展,55(11),256-263.
MLA 方国明,et al."基于平面法线向量的三自由度测量方法".激光与光电子学进展 55.11(2018):256-263.
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