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Department先光中心
共聚焦激光扫描显微系统光学设计
肖海东; 吴永前
Source Publication光学仪器
Volume40Issue:6Pages:65-74
2018
Language中文
SubtypeJ
Abstract为了实现非接触式、快速高精度的光学检测,设计了一种共聚焦激光扫描显微光学系统。在保证设计指标的前提下,简化了各光组的结构,采用7片球面透镜并以K9玻璃作为透镜材料。使用Zemax软件对光学系统进行了设计和仿真。结果表明:物镜的数值孔径为0.49;系统的径向和轴向光学分辨率分别为0.400μm和0.772μm;显微聚焦系统聚焦弥散斑直径小于2μm;照明系统聚焦弥散斑直径小于10μm;探测系统的聚焦光斑直径小于20μm;根据仿真结果确定了针孔1和针孔2的尺寸均为20μm,且厚度不超过0.1mm;各子系统的MTF曲线均接近衍射极限,具有很高的光学传输效率。
Keyword光学设计 Zemax 激光共聚焦 显微物镜 照明系统 探测系统
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9191
Collection先光中心
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
肖海东,吴永前. 共聚焦激光扫描显微系统光学设计[J]. 光学仪器,2018,40(6):65-74.
APA 肖海东,&吴永前.(2018).共聚焦激光扫描显微系统光学设计.光学仪器,40(6),65-74.
MLA 肖海东,et al."共聚焦激光扫描显微系统光学设计".光学仪器 40.6(2018):65-74.
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