| Department | 先光中心 |
| 共聚焦激光扫描显微系统光学设计 | |
| 肖海东; 吴永前 | |
| Source Publication | 光学仪器
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| Volume | 40Issue:6Pages:65-74 |
| 2018 | |
| Language | 中文 |
| Subtype | J |
| Abstract | 为了实现非接触式、快速高精度的光学检测,设计了一种共聚焦激光扫描显微光学系统。在保证设计指标的前提下,简化了各光组的结构,采用7片球面透镜并以K9玻璃作为透镜材料。使用Zemax软件对光学系统进行了设计和仿真。结果表明:物镜的数值孔径为0.49；系统的径向和轴向光学分辨率分别为0.400μm和0.772μm；显微聚焦系统聚焦弥散斑直径小于2μm；照明系统聚焦弥散斑直径小于10μm；探测系统的聚焦光斑直径小于20μm；根据仿真结果确定了针孔1和针孔2的尺寸均为20μm,且厚度不超过0.1mm；各子系统的MTF曲线均接近衍射极限,具有很高的光学传输效率。 |
| Keyword | 光学设计 Zemax 激光共聚焦 显微物镜 照明系统 探测系统 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9191 |
| Collection | 先光中心 |
| Affiliation | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 肖海东,吴永前. 共聚焦激光扫描显微系统光学设计[J]. 光学仪器,2018,40(6):65-74. |
| APA | 肖海东,&吴永前.(2018).共聚焦激光扫描显微系统光学设计.光学仪器,40(6),65-74. |
| MLA | 肖海东,et al."共聚焦激光扫描显微系统光学设计".光学仪器 40.6(2018):65-74. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2018-1038.pdf（2274KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | |
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