IOE OpenIR  > 薄膜光学技术研究室(十一室)
Department薄膜光学技术研究室(十一室)
基于光腔衰荡光谱技术的压力计校准方法
周胜; 韩艳玲; 李斌成
Source Publication光谱学与光谱分析
Volume38Issue:4Pages:1031-1035
2018
Language中文
ISSN1000-0593
DOI10.3964/j.issn.1000-0593(2018)04-1031-05
Indexed BySCI ; Ei
WOS IDWOS:000430996100007
EI Accession Number20184205948143
SubtypeJ
Abstract压强是工业生产过程中的一个重要参数,其准确测量是过程控制的关键。气体分子光谱线型和线宽取决于分子间相互作用和温度、气压等因素,利用窄线宽气体吸收光谱的压力展宽效应,可通过高分辨地测量气体吸收谱线得到压强信息,实现压力计校准。提出了一种基于光腔衰荡光谱技术和气体吸收谱线压力展宽效应的压力计校准方法。采用5.2μm可调谐量子级联激光器,基于连续光腔衰荡光谱技术建立了压力计校准实验装置。室温下,测量水汽在1 ;877 ;cm-1附近的一吸收谱线,线宽为0.084 ;21 ;cm-1,重复性测量误差小于1.53×10-4 ;cm-1,对应的压强大小为98.12 ;kPa,检测灵敏度优于0.18 ;kPa,与高精度压力计读数98.14 ;kPa一致。利用测试谱线线宽与压强的关系得到压力展宽系数(0.087 ;12±0.000 ;965)cm-1·atm-1,与HITARN数据库参考值0.087 ;1 ;cm-1·atm-1一致。实验校准了一小量程压力计。结果表明基于光腔衰荡光谱的高分辨吸收谱线测量在压强检测和压力计校准领域具有很好的应用前景。
Keyword光腔衰荡光谱 量子级联激光器 压力展宽
WOS KeywordSPECTROMETER ; SENSOR
EI KeywordsAbsorption spectroscopy ; Band structure ; Calibration ; Gas absorption ; Light measurement ; Pressure gages ; Pressure measurement ; Quantum cascade lasers ; Uncertainty analysis
EI Classification Number744.1 Lasers, General ; 802.3 Chemical Operations ; 922.1 Probability Theory ; 931.1 Mechanics ; 933 Solid State Physics ; 941.4 Optical Variables Measurements ; 944.3 Pressure Measuring Instruments ; 944.4 Pressure Measurements
Citation statistics
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9185
Collection薄膜光学技术研究室(十一室)
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
3.电子科技大学光电科学与工程学院
Recommended Citation
GB/T 7714
周胜,韩艳玲,李斌成. 基于光腔衰荡光谱技术的压力计校准方法[J]. 光谱学与光谱分析,2018,38(4):1031-1035.
APA 周胜,韩艳玲,&李斌成.(2018).基于光腔衰荡光谱技术的压力计校准方法.光谱学与光谱分析,38(4),1031-1035.
MLA 周胜,et al."基于光腔衰荡光谱技术的压力计校准方法".光谱学与光谱分析 38.4(2018):1031-1035.
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