IOE OpenIR  > 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Department微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
140单元MEMS变形镜研制及测试分析
汪为民; 王强
Source Publication光电工程
Volume45Issue:3Pages:170698-1-9
2018
Language中文
ISSN1003-501X
DOI1003-501X(2018)45:3<170698:1DYMBX>2.0.TX;2-S
Indexed ByCSCD
CSCD IDCSCD:6214076
SubtypeJ
Abstract为了满足自适应光学技术更广泛的应用需求,针对传统变形镜体积大、成本高的问题,本文研制了基于微机电系统技术的MEMS变形镜并进行了实验测试。本文研制的变形镜共有140个六边形平行板电容静电驱动器,驱动器为12×12正方形排列,间距400μm。采用表面MEMS工艺加工了变形镜样品,并利用陶瓷PGA管壳和石英玻璃盖板对样品进行了封装,同时还研制了与之配套的小型化多通道高压驱动电源。测试结果表明,该变形镜表面PV值411 ;nm,RMS值78 ;nm,在600 ;nm到900 ;nm波段的反射率接近80%,行程1.8μm,交连值约15%,工作带宽13 ;k ;Hz,阶跃响应时间23μs,具有体积小、成本低、响应快等优势。除了进行了单元性能的测试之外,还开环控制变形镜进行了Zernike像差的拟合测试,验证了变形镜的校正能力。结果表明,该变形镜能初步满足自适应光学系统的应用需求。
Keyword微机电系统 变形镜 自适应光学 静电驱动器
Citation statistics
Cited Times:1[CSCD]   [CSCD Record]
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/9168
Collection微细加工光学技术国家重点实验室(开放室)
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
2.桂林电子科技大学
3.中国科学院大学
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GB/T 7714
汪为民,王强. 140单元MEMS变形镜研制及测试分析[J]. 光电工程,2018,45(3):170698-1-9.
APA 汪为民,&王强.(2018).140单元MEMS变形镜研制及测试分析.光电工程,45(3),170698-1-9.
MLA 汪为民,et al."140单元MEMS变形镜研制及测试分析".光电工程 45.3(2018):170698-1-9.
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