| 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 | |
| 佟军民; 刘俊伯; 胡松 | |
| 2017 | |
| Source Publication | 激光与光电子学进展
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| ISSN | 1006-4125 |
| Volume | 54Issue:8Pages:260-268 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8959 |
| Collection | 微电子装备总体研究室（四室） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 佟军民,刘俊伯,胡松. 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析[J]. 激光与光电子学进展,2017,54(8):260-268. |
| APA | 佟军民,刘俊伯,&胡松.(2017).基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析.激光与光电子学进展,54(8),260-268. |
| MLA | 佟军民,et al."基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析".激光与光电子学进展 54.8(2017):260-268. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2017-1056.pdf（7821KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | |
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