基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析 | |
佟军民; 刘俊伯; 胡松 | |
Source Publication | 激光与光电子学进展
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Volume | 54Issue:8Pages:260-268 |
2017 | |
Language | 中文 |
ISSN | 1006-4125 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8959 |
Collection | 微电子装备总体研究室(四室) |
Recommended Citation GB/T 7714 | 佟军民,刘俊伯,胡松. 基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析[J]. 激光与光电子学进展,2017,54(8):260-268. |
APA | 佟军民,刘俊伯,&胡松.(2017).基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析.激光与光电子学进展,54(8),260-268. |
MLA | 佟军民,et al."基于塔尔博特自成像光刻机的照明系统设计与分析".激光与光电子学进展 54.8(2017):260-268. |
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2017-1056.pdf(7821KB) | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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