| KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析 | |
| 佟军民; 王冬梅 | |
| 2017 | |
| Source Publication | 机械设计与制造
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| ISSN | 1001-3997 |
| Issue | 6Pages:164-166 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8950 |
| Collection | 微电子装备总体研究室（四室） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 佟军民,王冬梅. KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析[J]. 机械设计与制造,2017(6):164-166. |
| APA | 佟军民,&王冬梅.(2017).KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析.机械设计与制造(6),164-166. |
| MLA | 佟军民,et al."KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析".机械设计与制造 .6(2017):164-166. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2017-1047.pdf（2324KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | |
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