IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析
佟军民; 王冬梅
2017
发表期刊机械设计与制造
ISSN1001-3997
期号6页码:164-166
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8950
专题微电子装备总体研究室(四室)
推荐引用方式
GB/T 7714
佟军民,王冬梅. KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析[J]. 机械设计与制造,2017(6):164-166.
APA 佟军民,&王冬梅.(2017).KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析.机械设计与制造(6),164-166.
MLA 佟军民,et al."KDF2滤棒输出装置的改进与仿真分析".机械设计与制造 .6(2017):164-166.
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