IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
一种大F数微透镜阵列的制备方法
刘鑫; 张满; 史立芳; 曹阿秀; 邓启凌
2017
发表期刊光子学报
ISSN1004-4213
卷号46期号:2页码:32-37
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8939
专题微电子装备总体研究室(四室)
推荐引用方式
GB/T 7714
刘鑫,张满,史立芳,等. 一种大F数微透镜阵列的制备方法[J]. 光子学报,2017,46(2):32-37.
APA 刘鑫,张满,史立芳,曹阿秀,&邓启凌.(2017).一种大F数微透镜阵列的制备方法.光子学报,46(2),32-37.
MLA 刘鑫,et al."一种大F数微透镜阵列的制备方法".光子学报 46.2(2017):32-37.
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