| 白光干涉检测仪垂直扫描系统设计 | |
| 姚靖威; 唐燕; 周毅; 邓茜; 赵立新; 胡松 | |
| Source Publication | 半导体技术
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| Volume | 42Issue:3Pages:229-234 |
| 2017 | |
| Language | 中文 |
| ISSN | 1003-353X |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8907 |
| Collection | 微电子装备总体研究室（四室） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 姚靖威,唐燕,周毅,等. 白光干涉检测仪垂直扫描系统设计[J]. 半导体技术,2017,42(3):229-234. |
| APA | 姚靖威,唐燕,周毅,邓茜,赵立新,&胡松.(2017).白光干涉检测仪垂直扫描系统设计.半导体技术,42(3),229-234. |
| MLA | 姚靖威,et al."白光干涉检测仪垂直扫描系统设计".半导体技术 42.3(2017):229-234. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2017-1004.pdf（1292KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | |
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