| 光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 |
| 周清华; 胡松; 杜靖; 王建
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| 2016
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| 发表期刊 | 电子工业专用设备
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| 期号 | 1页码:15-18+23 |
| 摘要 | 为了提高光刻机调平调焦台的重复定位精度,对其调平调焦台的精度指标分解开展研究。首先,应用几何关系,建立调平调焦总指标与逻辑轴之间的关系;再应用运动学原理,建立调平调焦台通用机构的逻辑轴和物理轴之间的运动关系;接着,应用函数误差原理,建立调平调焦台的精度指标分解模型。然后,采用压电陶瓷作为驱动、柔性簧片作为导向、压电陶瓷内置电容作为传感器搭建重复定位精度要求为100 nm的实验测试平台;最后实验测试平台测试结果显示,定位精度可达到90 nm,从而验证了该光刻机调平调焦台精度指标分解模型的正确性。 |
| 关键词 | 光刻机
调平调焦台
精度指标分解
函数误差原理
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| 语种 | 中文
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| 文献类型 | 期刊论文
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| 条目标识符 | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8698
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| 专题 | 微电子装备总体研究室（四室）
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| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所,四川成都610209
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| 第一作者单位 | 中国科学院光电技术研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
周清华,胡松,杜靖,等. 光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究[J]. 电子工业专用设备,2016(1):15-18+23.
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| APA |
周清华,胡松,杜靖,&王建.(2016).光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究.电子工业专用设备(1),15-18+23.
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| MLA |
周清华,et al."光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究".电子工业专用设备 .1(2016):15-18+23.
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