| 光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究 | |
| 周清华; 胡松; 杜靖; 王建 | |
| 2016 | |
| Source Publication | 电子工业专用设备
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| Issue | 1Pages:15-18+23 |
| Abstract | 为了提高光刻机调平调焦台的重复定位精度,对其调平调焦台的精度指标分解开展研究。首先,应用几何关系,建立调平调焦总指标与逻辑轴之间的关系;再应用运动学原理,建立调平调焦台通用机构的逻辑轴和物理轴之间的运动关系;接着,应用函数误差原理,建立调平调焦台的精度指标分解模型。然后,采用压电陶瓷作为驱动、柔性簧片作为导向、压电陶瓷内置电容作为传感器搭建重复定位精度要求为100 nm的实验测试平台;最后实验测试平台测试结果显示,定位精度可达到90 nm,从而验证了该光刻机调平调焦台精度指标分解模型的正确性。 |
| Keyword | 光刻机 调平调焦台 精度指标分解 函数误差原理 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8698 |
| Collection | 微电子装备总体研究室（四室） |
| Affiliation | 中国科学院光电技术研究所,四川成都610209 |
| First Author Affilication | Institute of optics and electronics, CAS |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 周清华,胡松,杜靖,等. 光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究[J]. 电子工业专用设备,2016(1):15-18+23. |
| APA | 周清华,胡松,杜靖,&王建.(2016).光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究.电子工业专用设备(1),15-18+23. |
| MLA | 周清华,et al."光刻机调平调焦台精度指标分解方法研究".电子工业专用设备 .1(2016):15-18+23. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2016-1010.pdf（816KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | |
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