| 成像干涉光刻技术及其频域分析 | |
| 刘娟; 冯伯儒; 张锦 | |
| Source Publication | 光电工程
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| Volume | 31Issue:10Pages:24-27 |
| 2004 | |
| Language | 中文 |
| Indexed By | Ei |
| Subtype | 期刊论文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/869 |
| Collection | 微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| Corresponding Author | 刘娟 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘娟,冯伯儒,张锦. 成像干涉光刻技术及其频域分析[J]. 光电工程,2004,31(10):24-27. |
| APA | 刘娟,冯伯儒,&张锦.(2004).成像干涉光刻技术及其频域分析.光电工程,31(10),24-27. |
| MLA | 刘娟,et al."成像干涉光刻技术及其频域分析".光电工程 31.10(2004):24-27. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 4043.pdf（109KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | View Application Full Text | |||
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