成像干涉光刻技术及其频域分析 | |
刘娟; 冯伯儒; 张锦 | |
Source Publication | 光电工程
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Volume | 31Issue:10Pages:24-27 |
2004 | |
Language | 中文 |
Indexed By | Ei |
Subtype | 期刊论文 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/869 |
Collection | 微细加工光学技术国家重点实验室(开放室) |
Corresponding Author | 刘娟 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 刘娟,冯伯儒,张锦. 成像干涉光刻技术及其频域分析[J]. 光电工程,2004,31(10):24-27. |
APA | 刘娟,冯伯儒,&张锦.(2004).成像干涉光刻技术及其频域分析.光电工程,31(10),24-27. |
MLA | 刘娟,et al."成像干涉光刻技术及其频域分析".光电工程 31.10(2004):24-27. |
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