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题名:
原子光刻用超高真空蒸发设备的设计和建立
作者: 陈献忠 ; 姚汉民 ; 陈旭南 ; 李展 ; 陈元培 ; 高洪涛 ; 石建平
刊名: 光电工程
出版日期: 2004
卷号: 31, 期号:1, 页码:5-8
通讯作者: 陈献忠
文章类型: 期刊论文
收录类别: Ei
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/863
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陈献忠,姚汉民,陈旭南,等. 原子光刻用超高真空蒸发设备的设计和建立[J]. 光电工程,2004,31(1):5-8.
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