IOE OpenIR  > 光电技术研究所博硕士论文
基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究
刘洪超1,2,3
学位类型博士
导师王长涛
2018-05
学位授予单位中国科学院研究生院
学位授予地点北京
关键词衍射极限 表面等离子体 超材料 超分辨 干涉光刻
学科领域光学
语种中文
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8345
专题光电技术研究所博硕士论文
作者单位1.中国科学院大学
2.中国科学院光电技术研究所
3.微细加工光学技术国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
刘洪超. 基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2018.
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刘洪超-光学工程.pdf(7851KB)学位论文 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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