IOE OpenIR  > 光电技术研究所博硕士论文
基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究
刘洪超1,2,3
Subtype博士
Thesis Advisor王长涛
2018-05
Degree Grantor中国科学院研究生院
Place of Conferral北京
Keyword衍射极限 表面等离子体 超材料 超分辨 干涉光刻
Subject Area光学
Language中文
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8345
Collection光电技术研究所博硕士论文
Affiliation1.中国科学院大学
2.中国科学院光电技术研究所
3.微细加工光学技术国家重点实验室
Recommended Citation
GB/T 7714
刘洪超. 基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2018.
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