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| 基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究 | |
| 刘洪超1,2,3 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 王长涛 |
| 2018-05 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 关键词 | 衍射极限 表面等离子体 超材料 超分辨 干涉光刻 |
| 学科领域 | 光学 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8345 |
| 专题 | 光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院大学 2.中国科学院光电技术研究所 3.微细加工光学技术国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘洪超. 基于表面等离子体的超分辨干涉光刻原理和方法研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2018. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 刘洪超-光学工程.pdf（7851KB） | 学位论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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