IOE OpenIR  > 光电技术研究所博硕士论文
三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究
邓钦元1,2
Subtype博士
Thesis Advisor胡松 ; 杨勇
2018-05-04
Degree Grantor中国科学院大学
Place of Conferral北京
Keyword三维微纳结构 无掩模光刻 非线性 白光干涉 空间调制度
Subject Area工程与技术科学基础学科
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8310
Collection光电技术研究所博硕士论文
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
邓钦元. 三维微纳结构的光刻及其表面形貌测量方法的研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2018.
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