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| 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测 | |
| 周毅1,2 | |
| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 胡松 |
| 2018-05-07 | |
| Degree Grantor | 中国科学院大学 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Keyword | 表面形貌检测 时域调制度 相位纵向拼接 超分辨显微成像 宽光谱 |
| Subject Area | 工程与技术科学基础学科 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8308 |
| Collection | 光电技术研究所博硕士论文 |
| Affiliation | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 周毅. 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测[D]. 北京. 中国科学院大学,2018. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其（6972KB） | 学位论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | ||
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