Knowledge Management System Of Institute of optics and electronics, CAS
| 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测 | |
| 周毅1,2 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 胡松 |
| 2018-05-07 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 关键词 | 表面形貌检测 时域调制度 相位纵向拼接 超分辨显微成像 宽光谱 |
| 学科领域 | 工程与技术科学基础学科 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8308 |
| 专题 | 光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 周毅. 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测[D]. 北京. 中国科学院大学,2018. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其（6972KB） | 学位论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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