IOE OpenIR  > 光电技术研究所博硕士论文
基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测
周毅1,2
学位类型博士
导师胡松
2018-05-07
学位授予单位中国科学院大学
学位授予地点北京
关键词表面形貌检测 时域调制度 相位纵向拼接 超分辨显微成像 宽光谱
学科领域工程与技术科学基础学科
文献类型学位论文
条目标识符http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8308
专题光电技术研究所博硕士论文
作者单位1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
推荐引用方式
GB/T 7714
周毅. 基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其超分辨检测[D]. 北京. 中国科学院大学,2018.
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基于白光显微干涉术的微纳结构三维形貌及其(6972KB)学位论文 开放获取CC BY-NC-SA请求全文
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