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| 光刻中的自成像效应研究 | |
| 刘俊伯1 | |
| Subtype | 博士 |
| Thesis Advisor | 胡松 ; 高洪涛 |
| 2017-05-24 | |
| Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
| Place of Conferral | 北京 |
| Document Type | 学位论文 |
| Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8138 |
| Collection | 光电技术研究所博硕士论文 |
| Affiliation | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 刘俊伯. 光刻中的自成像效应研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2017. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 光刻中的自成像效应研究.pdf（6753KB） | 学位论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text | ||
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