Knowledge Management System Of Institute of optics and electronics, CAS
| 光刻中的自成像效应研究 | |
| 刘俊伯1 | |
| 学位类型 | 博士 |
| 导师 | 胡松 ; 高洪涛 |
| 2017-05-24 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 学位授予地点 | 北京 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/8138 |
| 专题 | 光电技术研究所博硕士论文 |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘俊伯. 光刻中的自成像效应研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2017. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 光刻中的自成像效应研究.pdf（6753KB） | 学位论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 请求全文 | ||
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