摆臂式轮廓仪用于平面镜检测时仪器空间状态对测量结果的影响分析

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题名:	摆臂式轮廓仪用于平面镜检测时仪器空间状态对测量结果的影响分析
作者:	高明星; 景洪伟; 范天泉; 陈林
出版日期:	2014
会议名称:	第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集
会议日期:	2014
关键词:	摆臂 ; 空间位置关系 ; 轮廓仪 ; 横臂 ; 空间状态 ; 标定过程 ; 检测仪器 ; 测量结果 ; 位置偏差 ; 面形误差
通讯作者:	高明星
中文摘要:	摆臂式轮廓仪作为一种新型的在位检测仪器,是通过调整横臂转台轴线与工件转台轴线之间的空间位置关系来实现不同被测对象的面形误差测量,横臂转台轴线与工件转台轴线之间高精度的空间位置关系的确定是获得准确测量结果的前提。本文在已有的摆臂轮廓仪的系统上,对其实际测量的装调和标定过程进行了介绍,建立了平面镜检测时横臂转台轴线与工件转台轴线的空间位置关系的数学模型,并对横臂转台轴线与工件转台轴线空间位置偏差所造成的测量误差进行了分析,最后进行了实验验证和实验结果的讨论。本文对一块口径为600mm的标
语种:	中文
文章类型:	会议论文
页码:	1
内容类型:	会议论文
URI标识:	http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7924
Appears in Collections:	质量处（质检中心）_会议论文

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2014-1105.pdf（74KB）	会议论文	--	限制开放	CC BY-NC-SA	View 联系获取全文

作者单位:

1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

Recommended Citation:

高明星,景洪伟,范天泉,等. 摆臂式轮廓仪用于平面镜检测时仪器空间状态对测量结果的影响分析[C]. 见:第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集. 2014.

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