基于旋转-平移法的夏克-哈特曼波前传感器精度标校仿真分析 | |
吴腊红; 饶学军; 杨金生 | |
Volume | 2 |
2012 | |
Language | 中文 |
Subtype | 会议论文 |
Abstract | 用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器,在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中,一般将其视为理想状态,忽略了其本身所带误差。为满足高精度检测要求,平面反射镜或标准球面镜面形误差不可忽略。本文详细推导了旋转-平移法的理论公式,并采用旋转-平移的绝对检测方法进行仿真分析,获得平面反射镜面形误差。仿真结果表明:仿真获得的平面反射镜面形误差残差与初始所设相差很小,与初始所设值很好的吻合。 |
Keyword | 光学检测 旋转-平移法 夏克-哈特曼波前传感器 绝对检测 |
Conference Name | 第十届全国光电技术学术交流会论文集 |
Conference Date | 2012 |
Document Type | 会议论文 |
Identifier | http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7765 |
Collection | 自适应光学技术研究室(八室) |
Corresponding Author | 吴腊红 |
Affiliation | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院研究生院 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 吴腊红,饶学军,杨金生. 基于旋转-平移法的夏克-哈特曼波前传感器精度标校仿真分析[C],2012. |
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2012-1171.pdf(569KB) | 会议论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | Application Full Text |
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