IOE OpenIR  > 应用光学研究室(二室)
子孔径拼接检测浅度非球面的研究
王宁; 贾辛; 邢廷文
Volume1
2012
Language中文
Subtype会议论文
Abstract子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面,在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上,提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面,用圆形子孔径进行划分。最后完成子孔径的拼接仿真,验证了数学模型及拼接算法的可行性,同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。
Keyword子孔径拼接 非球面 光学检测 误差 仿真
Conference Name第十届全国光电技术学术交流会论文集
Conference Date2012
Document Type会议论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7457
Collection应用光学研究室(二室)
Corresponding Author王宁
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院研究生院
Recommended Citation
GB/T 7714
王宁,贾辛,邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面的研究[C],2012.
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