IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法
史立芳,曹阿秀,郭书基; 史立芳
Source Publication光学学报
Volume35Issue:s1Pages:314-319
2015
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract提供了一种制备连续面形螺旋位相板(SPP)的方法。通过将三维目标面形在一维方向上按照一定的间隔进行抽样处理,进而将获得的样条按照比例平铺在抽样空间内,获得与目标面形对应的二维掩模结构图形;利用该掩模结构在抽样方向上进行一次曝光即可获得目标面形。对该抽样方法、结构参数进行了分析,并且针对该方法开展了制备技术研究,制备出了4种电荷数分别为1,3,10和20的螺旋相位片,其适用波长为532 nm,并对其光学效果进行了测试。
Keyword光学制造 光学漩涡 光刻 微光学元件
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7358
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author史立芳
Affiliation中国科学院光电技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
史立芳,曹阿秀,郭书基,史立芳. 采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法[J]. 光学学报,2015,35(s1):314-319.
APA 史立芳,曹阿秀,郭书基,&史立芳.(2015).采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法.光学学报,35(s1),314-319.
MLA 史立芳,曹阿秀,郭书基,et al."采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法".光学学报 35.s1(2015):314-319.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
2015-1099.pdf(4221KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SAView Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[史立芳,曹阿秀,郭书基]'s Articles
[史立芳]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[史立芳,曹阿秀,郭书基]'s Articles
[史立芳]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[史立芳,曹阿秀,郭书基]'s Articles
[史立芳]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 2015-1099.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.