IOE OpenIR  > 微电子装备总体研究室(四室)
基于线阵CCD的高速光刻检焦技术
陈昌龙; 邸成良; 唐小萍; 胡松
Source Publication红外与激光工程
Volume44Issue:8Pages:2389-2394
2015
Language中文
Subtype期刊论文
Abstract随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时,FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环...
Keyword光刻 检焦 Fpga 线阵ccd
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7351
Collection微电子装备总体研究室(四室)
Corresponding Author陈昌龙
Affiliation1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
陈昌龙,邸成良,唐小萍,等. 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术[J]. 红外与激光工程,2015,44(8):2389-2394.
APA 陈昌龙,邸成良,唐小萍,&胡松.(2015).基于线阵CCD的高速光刻检焦技术.红外与激光工程,44(8),2389-2394.
MLA 陈昌龙,et al."基于线阵CCD的高速光刻检焦技术".红外与激光工程 44.8(2015):2389-2394.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
2015-1074.pdf(1343KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SAView Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[陈昌龙]'s Articles
[邸成良]'s Articles
[唐小萍]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[陈昌龙]'s Articles
[邸成良]'s Articles
[唐小萍]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[陈昌龙]'s Articles
[邸成良]'s Articles
[唐小萍]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 2015-1074.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.