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题名:
基于线阵CCD的高速光刻检焦技术
作者: 陈昌龙; 邸成良; 唐小萍; 胡松
刊名: 红外与激光工程
出版日期: 2015
卷号: 44, 期号:8, 页码:2389-2394
关键词: 光刻 ; 检焦 ; FPGA ; 线阵CCD
通讯作者: 陈昌龙
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时,FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环...
项目资助者: 国家自然科学基金(61274108)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7351
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2015-1074.pdf(1343KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.中国科学院光电技术研究所
2.中国科学院大学

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陈昌龙,邸成良,唐小萍,等. 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术[J]. 红外与激光工程,2015,44(8):2389-2394.
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