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基于超分辨率快速测量的切边冲孔机误差补偿方法
作者: 叶溯; 叶玉堂; 刘娟秀; 刘霖; 杜春雷
刊名: 应用光学
出版日期: 2015
期号: 3, 页码:454-459
关键词: 柔性电路板 ; 切边冲孔机 ; 超分辨率快速测量 ; 误差补偿
通讯作者: 叶溯
文章类型: 期刊论文
中文摘要: 在切边冲孔机长时间生产中,为了减小菲林形变引起的柔性电路板(FPC)冲切位置误差,利用目标冲切完成后的图像信息,测量金手指与冲切边缘间的距离,计算出系统误差并进行误差补偿。结果显示,经过误差补偿后,系统的冲切位置均方根误差在X与Y方向分别减小了41.6%与17.0%,系统的制程能力指数(CPK)达到1.611 8。利用菲林加大了FPC产品的外围尺寸,提高了产品的可利用面积,降低了生产成本。提出的超分辨率快速测量方法不需要对图像进行配准,可以将边缘位置定位误差由±0.5个像素降低为±0.25个像素。使用的误差补偿方法能够减小长时间生产所引起的冲切位置误差,设计的系统满足FPC的冲切精度要求。
项目资助者: 国家自然科学基金(61405028)
语种: 中文
内容类型: 期刊论文
URI标识: http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7343
Appears in Collections:微电子装备总体研究室(四室)_期刊论文

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2015-1028.pdf(436KB)期刊论文作者接受稿开放获取View 联系获取全文

作者单位: 1.电子科技大学光电信息学院
2.中国科学院光电技术研究所

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叶溯,叶玉堂,刘娟秀,等. 基于超分辨率快速测量的切边冲孔机误差补偿方法[J]. 应用光学,2015(3):454-459.
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